Reinraum

Der Reinraum ist ein Bereich unter kontrollierter
Atmosphäre (Filtration, Überdruck), in welchem
die Kontamination so weit wie möglich vermindert
wird. Die Reinheitsklasse eines Reinraums wird
über die Messung der Partikelkonzentration der
angegebenen Partikelgrößen in der Luft ermittelt.
Anhand der Ergebnisse ist erkennbar, ob die
Partikelkonzentration die Grenzkonzentration der
jeweiligen Partikelgrößen nicht überschreiten,
wodurch sich die Reinheitsklassen ermitteln lassen.

Es gibt je nach Norm unterschiedliche Einteilungen
der Reinheitsklassen, die aber gewisse Beziehungen
zueinander aufweisen.

Die beiden üblichen Standards sind der
"Federal Standard 209 E" und die
"ISO-Klassifizierung nach ISO 14664-1".











Federal Standard 209 E
Beispiel:
Die Reinraumklasse 1000 (entspricht M 4,5) lässt max. 1000 Partikel > 0,5 μm/ft3 Luft zu.
M = numerische Bezeichnung der RR-Klassen bezogen auf die SI-Einheiten
SI = Einheiten des intern. Maßsystems (z.B.: m, kg, usw.)

Klassen Partikel/ft
SI-Einheit (m²) Englische Einheit (ft³)
(U.S. üblich)		 ≥ 0,1 µm ≥ 0,2 µm ≥ 0,3 µm ≥ 0,5 µm ≥ 1 µm ≥ 5 µm
M 1,5 1 35 8 3 1    
M 2,5 10 350 75 30 10    
M 3,5 100   750 300 100    
M 4,5 1 000       1 000 230 7
M 5,5 10 000       10 000 2 300 70
M 6,5 100 000       100 000 23 000 700

Dieser Standard wurde mittlerweile durch die ISO-Klassifizierung ersetzt, aber nahezu
die gesamte Industrie arbeitet noch mit der englischen Einteilung des Federal Standard.

ISO-Klassifizierung nach ISO 14664-1

Klassen Partikel/ft
≥ 0,1 µm ≥ 0,2 µm ≥ 0,3 µm ≥ 0,5 µm ≥ 1 µm ≥ 5 µm
ISO-Klasse 1 10 2        
ISO-Klasse 2 100 24 10 4    
ISO-Klasse 3 1 000 237 102 35 8  
ISO-Klasse 4 10 000 2 370 1 020 352 83  
ISO-Klasse 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO-Klasse 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ISO-Klasse 7       352 000 83 200 2 930
ISO-Klasse 8       3 520 000 832 000 29 300
ISO-Klasse 9       35 200 000 8 320 000 293 000

Federal Standard 209 EFederal Standard 209 E

ISO KlassifizierungISO Klassifizierung


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